氣動(dòng)控制
氣動(dòng)控制與液壓控制相比,動(dòng)作迅速、方便,使用的元件和工作介質(zhì)成本低,便于現有機器設備的自動(dòng)化改裝,已經(jīng)在國際上得到很大發(fā)展,成為熱點(diǎn)之一。氣動(dòng)控制的缺點(diǎn),是運動(dòng)不平穩,有噪音,控制元件的體積較大。
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體積流量的表示方法
對多數用戶(hù)而言,體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用,但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量(如g/min),這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到,因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法(以密度乘以若干slm)即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位(Kg/min), 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。
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質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么?
(1) 流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準。
對于多數流量測控系統而言,很難避免系統的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計,壓力及溫度的波動(dòng)將導致較大的誤差;對于質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器,則一般可以忽略不計。
(2) 測量控制的自動(dòng)化
質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實(shí)現對流量的數字顯示﹑累積流量自動(dòng)計量﹑數據自動(dòng)記錄﹑計算機管理等。對質(zhì)量流量控制器而言,還可以實(shí)現流量的自動(dòng)控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA, 數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口, 能非常方便地與計算機連接, 進(jìn)行自動(dòng)控制。
(3) 定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以控制氣體的給定量,這對很多工藝過(guò)程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。
(4) 適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,如HCL)
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