氣體質(zhì)量流量控制器使用注意?
1 加裝過(guò)濾器
使用氣體必須純凈干燥,切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過(guò)濾器,如果流量計出口接有液體源瓶,應在流量計出口加裝單向閥,防止液體回流損壞流量計。
2 使用腐蝕性氣體
流量計通道采用的材料為:SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1(00Cr30Mo2), 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶(hù)系統無(wú)汽水、低泄露、勤清洗、使用得當的條件下,也可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強腐蝕性氣體和溶劑氣體時(shí),應在定貨時(shí)聲明,使用特殊腐蝕性氣體,所有密封材料都要作相應改變。
3 安裝位置問(wèn)題
本控制器安裝時(shí)建議保持安裝面水平,但對位置并不特別敏感,可以任意位置安裝,非水平位置安裝時(shí)若發(fā)現零點(diǎn)偏移,可以調整零點(diǎn)后在工作。
4 閥口密封問(wèn)題
質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調節閥, 不是截止閥, 不能當截止閥使用, 用戶(hù)應另配截止閥。特別是用戶(hù)使用腐蝕性氣體,通常應該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個(gè)截止閥,以保證工作安全。長(cháng)期工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以?xún)? 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿(mǎn)量程的2%, 則應進(jìn)行維修。
5 標定與不同氣體的換算
本流量質(zhì)量控制器出廠(chǎng)通常用氮氣(N2)標定。如果要求用使用氣體標定,需要在訂貨時(shí)與銷(xiāo)售人員特別申明。用氮氣標定的流量控制器用戶(hù)使用其它氣體時(shí),可以通過(guò)附錄的轉換系數進(jìn)行換算。
氣體質(zhì)量流量控制器工作原理
氣體進(jìn)入進(jìn)氣管道接頭后大部門(mén)流量流過(guò)分流器通道,其中很小一部門(mén)進(jìn)入傳感器內部的毛細鋼管。因為分流器通道的特殊結構,可以實(shí)現這兩部門(mén)氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預熱加溫,里面的溫度高于進(jìn)入的氣流溫度,此時(shí)通過(guò)毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門(mén)氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響,將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板,經(jīng)由放大后輸出,就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動(dòng)控制功能,把傳感器測得的流量檢測信號與用戶(hù)給出的設定信號進(jìn)行比較,以此為基礎控制調節閥,使得流量檢測信號與設定信號相等,這樣便實(shí)現了MFC的功能。
氣體質(zhì)量流量控制器特點(diǎn)
利用流體流過(guò)發(fā)熱物體時(shí),發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。該系列流量計的傳感器有兩只標準級的RTD,一只用來(lái)做熱源,一只用來(lái)測量流體溫度,當流體流動(dòng)時(shí),兩者之間的溫度差與流量的大小成線(xiàn)性關(guān)系,再通過(guò)微電子控制技術(shù),將這種關(guān)系轉換為測量流量信號的線(xiàn)性輸出。
采用全新的進(jìn)口傳感技術(shù)以及高精度的機械加工技術(shù),能實(shí)現微小流量測量和控制,其特點(diǎn)是可靠性高、重復性好,壓損小,無(wú)可動(dòng)部件,量程比寬,響應時(shí)間較快,測量精度高,無(wú)需要溫度壓力補償,廣泛應用于輕工化工環(huán)保及半導體等工業(yè)部門(mén)的空氣、氧氣、氮氣等氣體的檢測和控制