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氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個(gè)什么概念?
氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作，MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差小于0.1 MPa, 有可能操控流量達不上滿(mǎn)量程值; 若高過(guò)0.3MPa, 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過(guò)，即電磁閥漏氣?？蛻?hù)應用MFC時(shí), 無(wú)論客戶(hù)工作的反應腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài), 都應保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規定壓差范圍內, 而且壓差要相持續穩定。
氣體質(zhì)量流量控制器工作原理
氣體進(jìn)入進(jìn)氣管道接頭后大部門(mén)流量流過(guò)分流器通道，其中很小一部門(mén)進(jìn)入傳感器內部的毛細鋼管。因為分流器通道的特殊結構，可以實(shí)現這兩部門(mén)氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預熱加溫，里面的溫度高于進(jìn)入的氣流溫度，此時(shí)通過(guò)毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門(mén)氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經(jīng)由放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動(dòng)控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號與用戶(hù)給出的設定信號進(jìn)行比較，以此為基礎控制調節閥，使得流量檢測信號與設定信號相等，這樣便實(shí)現了MFC的功能。
氣體質(zhì)量流量控制器顯示方式有哪些
1、 分體二次數顯儀表。采用按鍵式的操作方式，測量的精度高，多款外形尺寸可選，雙四位的LED顯示，支持電流、電壓的輸入方式，可帶多個(gè)控制點(diǎn)、多窗口顯示，適用于流量等過(guò)程量的監測，是一款非常高的產(chǎn)品。
2、 本體觸摸按鍵顯示。在流量計本體即可進(jìn)行流量大小的調節與顯示，除了具有精度等級高，線(xiàn)性精度好以外，操作簡(jiǎn)單、便攜也是本產(chǎn)品的一大主要特點(diǎn)。
3、 觸摸屏顯示操作。這是一種智能化、自動(dòng)化的操作方式，適合多氣路以及產(chǎn)品的集成，一鍵啟動(dòng)，人機界面，具有靈敏的反應速度、易于交流、堅固耐用、節省空間等優(yōu)點(diǎn),是目前便捷、簡(jiǎn)單、自然的一種人機交互方式,用戶(hù)只需用手指輕輕一點(diǎn)顯示屏上的圖標或文字就能操作,給人們的生活帶來(lái)了很大的方便。
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