密度補償方式
a、飽和蒸汽流量測量:ρ為自動(dòng)補償,即儀表測量出補償壓力或者溫度信號后,根據壓力或者溫度補償信號,然后自動(dòng)進(jìn)行查表求出蒸汽密度,飽和蒸汽流量測量只需溫度或者壓力補償其中之一,若兩者都存在則以壓力信號作為補償信號;
b、過(guò)熱蒸汽流量測量:ρ為自動(dòng)補償,即儀表測量出補償壓力和溫度信號后,自動(dòng)進(jìn)行查表求出蒸汽密度,兩種補償信號必須同時(shí)存在,失去任何一種補償信號都將無(wú)法得到瞬時(shí)流量值;
c、壓縮氣體流量測量:可采用壓力補償、溫度補償和溫度壓力同時(shí)補償,壓力補償公式:ρ=A0*P+B0,取兩種工況下的密度值和壓力值即可算出A0和B0系數;溫度補償公式為:ρ=A0*T+B0,取兩種工況下的密度值和溫度值即可算出A0和B0系數;
溫度壓力同時(shí)補償公式為:
ρ=ρ0(P+Pa)×(Co+273.2)/((P0+0.1013)×(C+273.2))
ρ工況密度;P工況壓力;C工況溫度;P0標況壓力;C0標況溫度;Pa當地大氣壓力MPa; ρ0 標況密度
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怎么理解質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器的流量單位?
氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分鐘標準升)來(lái)表示。這意味著(zhù),這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。
對多數用戶(hù)而言,體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用,但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量(如g/min),這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到,因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法(以密度乘以若干slm)即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位(Kg/min), 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。
液晶顯示流量積算儀
三通道輸入,具有三路流量積算功能的無(wú)紙記錄儀。儀表可輸入標準電流、標準電壓、熱電偶、熱電阻、頻率等信號,可提供傳感器配電輸出和模擬量變送輸出、繼電器觸點(diǎn)輸出。直接連接微型打印機,打印用戶(hù)時(shí)間的實(shí)時(shí),歷史數據和曲線(xiàn);通過(guò)RS232通訊接口與便攜計算機、掌上電腦(PDA)連接,直接讀取儀表歷史數據,