氣體質(zhì)量流量控制器的原理是什么?
質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器、通道、電磁調節閥和電路板等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門(mén),閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量積算儀上設置有穩壓電源, 設定電位器, 和三位閥控開(kāi)關(guān)等。
選擇氣體質(zhì)量流量控制器和訂貨時(shí)應當注意什么?
(1) 注意選擇正確的品牌
一般應當衡量生產(chǎn)廠(chǎng)家的產(chǎn)品質(zhì)量﹑銷(xiāo)售價(jià)格﹑售后服務(wù)﹑技術(shù)水平﹑產(chǎn)品特點(diǎn)﹑生產(chǎn)規模﹑企業(yè)信譽(yù)等因素。
(2) 注意選擇正確的工作壓力指標
不同的產(chǎn)品工作壓力指標可能不同,注意選擇適合自己的產(chǎn)品。質(zhì)量流量控制器(MFC)除耐壓之外,還有另一項工作壓力指標:工作壓差,即MFC進(jìn)氣端和出氣端之間的壓差,選型時(shí)要注意,使用時(shí)也要注意。
(3) 注意選擇合適氣體、流量規格、精度和接頭形式和接口尺寸。
除了氣體種類(lèi),流量范圍外準確度和接頭形式也很重要,常見(jiàn)的接頭形式有卡套接頭和VCR接頭,接口尺寸有公制Φ3、Φ6、Φ10;英制1/8、1/4、1/2英寸的和法蘭接頭。具體接口尺寸需要根據流量范圍來(lái)定制。
氣體質(zhì)量流量控制器流速和流量之間的關(guān)系
流量通常分為體積流量、質(zhì)量流量和重量流量三種:
體積流量的公式為Q=VS,Q代表氣體的體積流量(m/s),V代表氣體的平均流速(m/s),S代表氣路管道的橫截面積(㎡)。
質(zhì)量流量則是M=ρQ=ρVS,M代表氣體的質(zhì)量流量(kg/s),ρ代表氣體的密度(kg/m),Q代表氣體的體積流量(m/s)。
重量流量則是G=γQ=ρgVS=gM,G代表氣體的重量流量(kgf/s),γ代表氣體的介質(zhì)重度(N/㎡),M代表氣體的質(zhì)量流量(kg/s)。