流量積算儀特點(diǎn)
1、流量積算儀與各種流量傳感器或變送器、溫度傳感器或變送器和壓力變送器配合使用,可對各種液體、蒸汽、一般氣體等流量參數進(jìn)行測量顯示、累積計算、報警控制、變送輸出、數據采集及通訊。功能特點(diǎn):(1)全范圍自動(dòng)溫度、壓力補償運算,補償方式任意設定;(2)線(xiàn)性積算、開(kāi)方積算任意設定;(3)瞬時(shí)流量、累積流量、溫度、壓力多種參數顯示;(4)小信號切除功能,切除范圍0-5%可選;(5)累積流量值可通過(guò)面板按鍵清零,清零操作可鎖。
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質(zhì)量流量計
質(zhì)量流量計,即Mass Flow Meter(縮寫(xiě)為MFM), 是一種準確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準,不需要溫度壓力補償。
質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller(縮寫(xiě)為MFC), 不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動(dòng)控制氣體流量,即用戶(hù)可根據需要進(jìn)行流量設定,MFC自動(dòng)地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,也不會(huì )使其偏離設定值。簡(jiǎn)單地說(shuō),質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩流裝置, 是一個(gè)可以手動(dòng)設定或與計算機聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩流裝置。
怎么理解質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器的流量單位?
氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分鐘標準升)來(lái)表示。這意味著(zhù),這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。
對多數用戶(hù)而言,體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用,但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量(如g/min),這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到,因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法(以密度乘以若干slm)即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位(Kg/min), 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。