動(dòng)態(tài)稀釋配氣儀符合“HJ 57-2017固定源廢氣SO2的測定 定電位電解法”標準,符合“GB/T5275.7-2014/ISO 6145-7:2009氣體分析動(dòng)態(tài)體積法制備校準用混合氣體第七部分:熱式質(zhì)量流量控制器”標準。
1.概念:
動(dòng)態(tài)配氣儀是利用連續稀釋法將已知濃度的原料氣,以較小的流量,恒定不變地送入氣體混氣模塊中,再通過(guò)混氣模塊,同時(shí)將凈化過(guò)的背景氣體(通常使用高純N2或Air)以較大的流量恒定不變地與原料氣混合稀釋。稀釋后的混合氣連續不斷地從混氣模塊流出供使用的配氣設備。
準確計量原料氣流和背景氣流之比可得稀釋倍數?;旌蠚獾臐舛瓤珊?jiǎn)單地從稀釋倍數計算出來(lái),調節氣流比可以得到所需濃度的標準氣體。
2.應用行業(yè)
可廣泛應用于氣體濃度傳感器、校準、測試研究,在新材料及特種材料的研究及制備方面,多配套于CVD使用,等離子刻蝕、催化評價(jià)、脫硫脫銷(xiāo)、氣體焊接等設備中也大量配套使用,大量在環(huán)保行業(yè)中一氧化碳干擾實(shí)驗——動(dòng)態(tài)混合矩陣實(shí)驗法中使用,主要是對氣源CO2、SO2、N2進(jìn)行動(dòng)態(tài)混合配比,為試驗提供一定流量范圍或濃度范圍的混合氣體。
3.參數
3.1流量輸出:0-10SLM以上(流量輸出可根據用戶(hù)訂制)
3.2儀器精度:±1%F.S(可選高配,為±1%S.P)
3.3重復精度:±0.2%F.S(10SLM以上重復精度誤差增大)
3.4線(xiàn)性:±0.5%F.S(10SLM以上重復精度誤差增大)
3.5工作環(huán)境溫度:5℃-45℃
3.6預熱時(shí)間:20min
3.7稀釋比:100:1(可根據客戶(hù)要求訂制)
4.整體結構組成及連接
4.1前面板
開(kāi)關(guān):
按下燈亮,開(kāi)啟集成氣路系統。
請確保在按下開(kāi)關(guān)之前連接后面板220V AC 供電線(xiàn)。
人機交互界面:
采用觸摸屏控制氣路系統內部所有單元,包括MFC,電磁截止閥,壓力傳感器等。
USB接口:
功能1:允許用戶(hù)導出實(shí)時(shí)記錄的數據,并用于分析處理。
功能2:如插入接口的U盤(pán)中有版本軟件,系統會(huì )提示用戶(hù)自動(dòng)升級,允許用戶(hù)遠程界面升級。
用戶(hù)在升級程序前請與廠(chǎng)商技術(shù)支持聯(lián)系確認所升級程序是否可用。
4.2后面板
220VAC接口:
使用廠(chǎng)商配送的連接線(xiàn)連接220市電。
連接前確保前面板電源開(kāi)關(guān)處于關(guān)閉狀態(tài)。
氣路進(jìn)出氣接口:
根據客戶(hù)定制氣路數量及連接方式不同,使用的接口數量也不同,廠(chǎng)商會(huì )根據不同定制需求進(jìn)行標識。
氣路采用6mm不銹鋼管卡套形式連接,連接前確認前后卡套位置是否正確,連接6mm不銹鋼管后,順時(shí)針旋緊螺母A約1.25圈,使不銹鋼管路與接頭卡住不漏氣。
氣路連接時(shí),請務(wù)必按照以下示意圖所示,使用扳手固定隔板接頭固定螺母B,從而避免旋緊螺母過(guò)程中內部管路松脫,造成漏氣。
如標識不清或無(wú)法確認請致電廠(chǎng)商技術(shù)支持。
散熱風(fēng)扇:
開(kāi)機自動(dòng)啟動(dòng)。
確保風(fēng)扇通道不被卡主,造成無(wú)法轉動(dòng)。
外調零接口:
用于模擬產(chǎn)品的零點(diǎn)微調,數字產(chǎn)品此接口無(wú)需連接。
如零點(diǎn)漂移超出2%F.S.,請卸下上機蓋,使用MFC自身調零方式進(jìn)行調零。
上機蓋拆卸螺釘:
用戶(hù)可通過(guò)拆卸后面上方兩側對稱(chēng)螺釘卸下上機蓋,從而進(jìn)行粗調零等工作。
拆卸時(shí)如有疑問(wèn)請致電廠(chǎng)商技術(shù)支持。
5.界面操作及注意事項
5.1右側部分為氣路原理區:
用戶(hù)可以明確地知道氣路原理與氣路基本構成,并可通過(guò)手動(dòng)方式,控制內部截止閥(V1-V6的開(kāi)關(guān))
INLET1 - 設備所用背景氣,一般為空氣或氮氣。
INLET2 – 原料氣,用戶(hù)可通過(guò)列表選擇多種氣體種類(lèi)。
初級儲氣罐 - 用于二次配氣時(shí)儲存初級配比出的一定濃度氣體,系統自動(dòng)維持壓力在0.5MPa以下,在使用二級配氣條件下,初級儲氣罐自動(dòng)維持壓力在0.45-0.5MPa上下,用以滿(mǎn)足二級配氣下MF的正常工作使用壓差。
5.2左側選擇框內為功能區:
l 模式選擇:
通過(guò)切換,選擇濃度模式和流量模式兩種基本控制模式。
濃度模式:用戶(hù)根據自身配氣需求,直接在輸出設定中輸入所需輸出的氣體濃度,并點(diǎn)擊開(kāi)始自動(dòng)配出所需濃度氣體。
l 流量模式:
用戶(hù)通過(guò)每臺MFC的手動(dòng)流量設定,自行控制內部截止閥開(kāi)關(guān),進(jìn)行自由設定,系統自動(dòng)換算出當前輸出氣體濃度。
l 輸出設定:
濃度設定模式下,用戶(hù)在輸出設定框中寫(xiě)入希望輸出的總濃度(系統默認氣源為1000000PPM情況下,輸出濃度在100PPM以上使用一級配氣,輸出濃度再100PPM以下,使用二級配氣)
用戶(hù)輸入總濃度后,選擇一級或二級配氣設定,系統會(huì )自動(dòng)切換用戶(hù)需要輸入的值。
如系統使用一級配氣,用戶(hù)可直接輸入流量輸出值(可用的流量輸出范圍會(huì )在輸入框上方顯示,輸入的流量不能超過(guò)這個(gè)范圍)。
如系統使用二級配氣,系統自動(dòng)調準到二級配氣設定框中,此時(shí)用戶(hù)可自行設定一級配氣的濃度,同樣,系統會(huì )自動(dòng)計算一級配氣可輸出的流量(可用的流量輸出范圍會(huì )在輸入框上方顯示,輸入的流量不能超過(guò)這個(gè)范圍,建議選用流量輸出),一級配氣濃度及流量設定后,系統會(huì )自動(dòng)計算終二級配氣用戶(hù)可輸出的流量(可用的流量輸出范圍會(huì )在輸入框上方顯示,輸入的流量不能超過(guò)這個(gè)范圍)
設定正確后,點(diǎn)擊“開(kāi)始”系統會(huì )自動(dòng)切換所需的閥進(jìn)行開(kāi)關(guān),從而輸出用戶(hù)所需要的濃度。
流量模式下,用戶(hù)通過(guò)MFC1-MF的單獨設定,點(diǎn)擊“開(kāi)始”,系統會(huì )自動(dòng)切換所設定MFC進(jìn)氣端的截止閥(設定>2%F.S. 截止閥自動(dòng)打開(kāi)),V5的設定需要用戶(hù)手動(dòng)切換。
瞬時(shí)狀態(tài)框中,系統實(shí)時(shí)顯示當前的濃度及流量。
Android手機用戶(hù)可訂制手機APP監測,讓您隨時(shí)隨地可以監測工藝數據,不必在實(shí)驗室與辦公室之間來(lái)回奔忙。
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