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氣體質(zhì)量流量計數字控制模塊-北京曉韜科技

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流體控制

流體控制是利用流體的各種控制元件（各種泵、閥門(mén)、油缸）及液壓系統附件（過(guò)濾器、管路接頭、液位計、壓力儀表等），組成控制閉式回路，以進(jìn)行自動(dòng)控制。

液壓控制 液壓控制用油液作為工作介質(zhì)，故能把由于功率的損耗而產(chǎn)生的熱量，從發(fā)生的地方帶到別處，這樣在一定的功率情況下，可以大大減小部件的尺寸；從負載的影響看，液壓系統具有機械上的剛性，用在閉環(huán)系統中，定位剛度較大，位置誤差較??；與機械機構相比，液壓執行器的響應速度較高，能高速啟動(dòng)、制動(dòng)與反向，同時(shí)其力矩—慣量比也較大，因而其加速能力較強；液壓傳動(dòng)易實(shí)現無(wú)級調速，具有自身潤滑等優(yōu)點(diǎn)。

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質(zhì)量流量控制器在高壓條件下如何使用?

質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn):1, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 2, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號;  3, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調節減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會(huì )超過(guò)規定的范圍。只要做到以上三點(diǎn),  MFC就能夠在高壓條件下穩定工作。

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氣體質(zhì)量流量控制器如何選擇密封材料

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類(lèi)。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。

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