流量控制單元(FSCU)
FSCU(Flow System Control Unit)是北京曉韜科技有限公司技術(shù)團隊針對各大高校、科研院所的不同研究方向,為其量身打造的氣體、液體流量控制系統單元,目前大量應用于材料、催化、環(huán)境、化學(xué)、物理等相關(guān)領(lǐng)域。
FSCU可通過(guò)觸摸屏、PLC、PC軟件等上位機系統控制國內外主流流量控制器(如北京七星華創(chuàng )、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat等品牌)及電磁截止閥開(kāi)關(guān),可以讀取氣路中壓力信號或溫度信號并進(jìn)行轉換,從而實(shí)現氣路中常用元件的程序控制,實(shí)現溫壓修正、MFC故障診斷、氣路截止等一系列聯(lián)動(dòng)功能。
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氣體質(zhì)量流量單位
氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分鐘標準升)來(lái)表示。這意味著(zhù),這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。
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使用質(zhì)量流量控制器注意事項
使用質(zhì)量流量控制器有四怕:
怕粉塵, 若粉塵進(jìn)入流量計會(huì )堵塞傳感器和分流器, 造成測量誤差, 要求在進(jìn)氣口前加裝過(guò)濾器;
第二怕液體和油污進(jìn)入MFC, 會(huì )造成失控, 如果MFC的出口接有液體罐, 需要在MFC出口加上單向閥, 防止液體回流;
第三怕使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì )使不銹鋼生銹, 造成MFC通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統進(jìn)行干燥處理;
第四怕在使用強腐蝕性、有毒等危害性氣體時(shí)不按安全規則操作, 有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴重的損失。
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