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氣體質(zhì)量流量控制器流速和流量之間的關(guān)系

流量通常分為體積流量、質(zhì)量流量和重量流量三種：

體積流量的公式為Q=VS，Q代表氣體的體積流量（m/s），V代表氣體的平均流速（m/s），S代表氣路管道的橫截面積（㎡）。

質(zhì)量流量則是M=ρQ=ρVS，M代表氣體的質(zhì)量流量（kg/s），ρ代表氣體的密度（kg/m），Q代表氣體的體積流量（m/s）。

重量流量則是G=γQ=ρgVS=gM，G代表氣體的重量流量（kgf/s），γ代表氣體的介質(zhì)重度（N/㎡），M代表氣體的質(zhì)量流量（kg/s）。


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氣體質(zhì)量流量控制器工作原理

氣體進(jìn)入進(jìn)氣管道接頭后大部門(mén)流量流過(guò)分流器通道，其中很小一部門(mén)進(jìn)入傳感器內部的毛細鋼管。因為分流器通道的特殊結構，可以實(shí)現這兩部門(mén)氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預熱加溫，里面的溫度高于進(jìn)入的氣流溫度，此時(shí)通過(guò)毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門(mén)氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經(jīng)由放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動(dòng)控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號與用戶(hù)給出的設定信號進(jìn)行比較，以此為基礎控制調節閥，使得流量檢測信號與設定信號相等，這樣便實(shí)現了MFC的功能。


如何通過(guò)質(zhì)量流量控制器判斷沒(méi)有氣體通過(guò)？

質(zhì)量流量控制器（MFC）是用來(lái)控制氣體流量的，質(zhì)量流量計（MFM）是用來(lái)測量氣體流量，如果你需要檢測氣體流量需要用MFM。  當然MFC還是有檢測方法的，如果通過(guò)氣體流量比較大，壓比較大，可以為MFC設定一個(gè)大流量，MFC會(huì )反饋一個(gè)值，這個(gè)值就是氣體的流量。  如果流量比較小，壓力比較小MFC就不能測出來(lái)了，因為MFC壓損通常是比較大的，如果氣體流量比較小，壓力比較小就沒(méi)辦法測量了，就需要抵壓損的MFM。


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