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什么是氣體質(zhì)量流量控制器？

氣體質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著(zhù)重要的應用。

質(zhì)量流量控制器不僅具備質(zhì)量流量計的作用，更主要的是，它能控制氣體流量，即客戶(hù)可按照需求設定流量，MFC會(huì )自動(dòng)地將流量穩定在設定值上，即使系統工作壓力有起伏或自然環(huán)境溫度有轉變，也不會(huì )使其偏移設定值。簡(jiǎn)易地說(shuō),質(zhì)量流量控制器可以看成是一個(gè)穩流設備, 是一個(gè)可以手動(dòng)式設置或與電子計算機連接自動(dòng)控制的氣體穩流設備。

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視頻作者：北京曉韜科技有限公司

氣體質(zhì)量流量控制器使用注意？

1 加裝過(guò)濾器

使用氣體必須純凈干燥，切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過(guò)濾器，如果流量計出口接有液體源瓶，應在流量計出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量計。

2 使用腐蝕性氣體

流量計通道采用的材料為：SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1（00Cr30Mo2）, 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶(hù)系統無(wú)汽水、低泄露、勤清洗、使用得當的條件下，也可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強腐蝕性氣體和溶劑氣體時(shí)，應在定貨時(shí)聲明，使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應改變。

3 安裝位置問(wèn)題

本控制器安裝時(shí)建議保持安裝面水平，但對位置并不特別敏感，可以任意位置安裝，非水平位置安裝時(shí)若發(fā)現零點(diǎn)偏移，可以調整零點(diǎn)后在工作。

4 閥口密封問(wèn)題

質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調節閥, 不是截止閥, 不能當截止閥使用, 用戶(hù)應另配截止閥。特別是用戶(hù)使用腐蝕性氣體，通常應該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個(gè)截止閥，以保證工作安全。長(cháng)期工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以?xún)? 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿(mǎn)量程的2%, 則應進(jìn)行維修。

5 標定與不同氣體的換算

本流量質(zhì)量控制器出廠(chǎng)通常用氮氣(N2)標定。如果要求用使用氣體標定，需要在訂貨時(shí)與銷(xiāo)售人員特別申明。用氮氣標定的流量控制器用戶(hù)使用其它氣體時(shí)，可以通過(guò)附錄的轉換系數進(jìn)行換算。

如何通過(guò)質(zhì)量流量控制器判斷有沒(méi)有氣體通過(guò)？

可以使用惰性氣體接到MFC進(jìn)氣端，然后將出氣口接一根軟管再通進(jìn)水里，如果軟管口有氣泡冒出，證明MFC是有氣體通過(guò)的，不過(guò)需要注意防止液體倒吸進(jìn)MFC內，也可以用手將出氣口堵死，觀(guān)察瞬時(shí)流量是否有下降，如果有下降，也證明有氣體通過(guò)，此時(shí)堵住出氣口的手指也能感受到一定的壓力。