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電子質(zhì)量控制器-曉韜科技有限公司-電子質(zhì)量控制器價(jià)格

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氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個(gè)什么概念?

氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作，MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差小于0.1 MPa, 有可能操控流量達不上滿(mǎn)量程值; 若高過(guò)0.3MPa, 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過(guò)，即電磁閥漏氣?？蛻?hù)應用MFC時(shí), 無(wú)論客戶(hù)工作的反應腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài), 都應保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規定壓差范圍內, 而且壓差要相持續穩定。


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氣體質(zhì)量流量控制器的零點(diǎn)漂移？

微小的零點(diǎn)漂移是不會(huì )影響傳感器的測量精度和數值的，但是如果是零點(diǎn)漂移較大或用戶(hù)在使用時(shí)，對零點(diǎn)漂移的數值有疑問(wèn)，那么這時(shí)候如何解決漂移顯得非常重要。 熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計會(huì )有零點(diǎn)漂移情況，零點(diǎn)漂移也就是管道中已經(jīng)沒(méi)有介質(zhì)流動(dòng)但質(zhì)量流量計仍顯示流量值。如果是零點(diǎn)出現大幅漂移，而且每次漂移差別很大，就需要檢查管道內使用有大量的壓力或氣體殘留，需要打開(kāi)各種閥門(mén)，全部排空氣體管路，防止設備或管路憋壓。

一般造成質(zhì)量流量計零點(diǎn)漂移的因素有許多，解決質(zhì)量流量計零漂問(wèn)題，首先要定期進(jìn)行零點(diǎn)檢查和調整，二是需要和工藝配合來(lái)解決。一般情況下，管道壓力變化造成介質(zhì)微量流動(dòng)也會(huì )導致質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計的零點(diǎn)漂移，出現這種漂移時(shí)，要關(guān)閉流量控制器或流量計前段的電磁閥（流量控制器不能當做截止閥來(lái)使用），使管道內處于完全零流狀態(tài)或在管道適當位置設置排氣口，消除管道內的壓力和氣流，從而達到消除零點(diǎn)漂移。


氣體質(zhì)量流量控制器對于氣體的要求

1，氣體必須潔凈且沒(méi)有顆粒物, 沒(méi)有液體, 這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過(guò)濾器。

2，輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標準, 不能超過(guò)該產(chǎn)品要求的較大壓力。

3、產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶(hù)訂貨選擇的密封材料相適應, 用戶(hù)有責任按照可用的安全規章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會(huì )使保修無(wú)效，還容易產(chǎn)生危險。


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