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曉韜科技公司-熱式質(zhì)量流量控制器報價(jià)-河北熱式質(zhì)量流量控制器

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什么是氣體質(zhì)量流量控制器?


氣體質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著(zhù)重要的應用。

質(zhì)量流量控制器不僅具備質(zhì)量流量計的作用,更主要的是,它能控制氣體流量,即客戶(hù)可按照需求設定流量,MFC會(huì )自動(dòng)地將流量穩定在設定值上,即使系統工作壓力有起伏或自然環(huán)境溫度有轉變,也不會(huì )使其偏移設定值。簡(jiǎn)易地說(shuō),質(zhì)量流量控制器可以看成是一個(gè)穩流設備, 是一個(gè)可以手動(dòng)式設置或與電子計算機連接自動(dòng)控制的氣體穩流設備。


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如何通過(guò)質(zhì)量流量控制器判斷有沒(méi)有氣體通過(guò)?

可以使用惰性氣體接到MFC進(jìn)氣端,然后將出氣口接一根軟管再通進(jìn)水里,如果軟管口有氣泡冒出,證明MFC是有氣體通過(guò)的,不過(guò)需要注意防止液體倒吸進(jìn)MFC內,也可以用手將出氣口堵死,觀(guān)察瞬時(shí)流量是否有下降,如果有下降,也證明有氣體通過(guò),此時(shí)堵住出氣口的手指也能感受到一定的壓力。


氣體質(zhì)量流量控制器對于氣體的要求

1,氣體必須潔凈且沒(méi)有顆粒物, 沒(méi)有液體, 這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過(guò)濾器。

2,輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標準, 不能超過(guò)該產(chǎn)品要求的較大壓力。

3、產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶(hù)訂貨選擇的密封材料相適應, 用戶(hù)有責任按照可用的安全規章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會(huì )使保修無(wú)效,還容易產(chǎn)生危險。