氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個(gè)什么概念?
氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作,MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差小于0.1 MPa, 有可能操控流量達不上滿(mǎn)量程值; 若高過(guò)0.3MPa, 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過(guò),即電磁閥漏氣??蛻?hù)應用MFC時(shí), 無(wú)論客戶(hù)工作的反應腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài), 都應保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規定壓差范圍內, 而且壓差要相持續穩定。
質(zhì)量流量控制器能用比例閥代替嗎?
不可以的,一般我們常說(shuō)的比例閥就是電磁調節閥,雖然可以起到一定的流量調節作用,但無(wú)法做到準確,穩定的流量控制,而氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)是在電磁調節閥的基礎上增加了控制電路和流量檢測傳感器和比例分流,是可以實(shí)現準確、穩定的流量控制,并且可以將流量信號穩定持續輸出成電壓信號或電流信號,比例閥根本滿(mǎn)足不了MFC能起到的作用。
氣體質(zhì)量流量控制器對于氣體的要求
1,氣體必須潔凈且沒(méi)有顆粒物, 沒(méi)有液體, 這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過(guò)濾器。
2,輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標準, 不能超過(guò)該產(chǎn)品要求的較大壓力。
3、產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶(hù)訂貨選擇的密封材料相適應, 用戶(hù)有責任按照可用的安全規章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會(huì )使保修無(wú)效,還容易產(chǎn)生危險。