氣體質(zhì)量流量控制器使用注意?
1 加裝過(guò)濾器
使用氣體必須純凈干燥,切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過(guò)濾器,如果流量計出口接有液體源瓶,應在流量計出口加裝單向閥,防止液體回流損壞流量計。
2 使用腐蝕性氣體
流量計通道采用的材料為:SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1(00Cr30Mo2), 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶(hù)系統無(wú)汽水、低泄露、勤清洗、使用得當的條件下,也可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強腐蝕性氣體和溶劑氣體時(shí),應在定貨時(shí)聲明,使用特殊腐蝕性氣體,所有密封材料都要作相應改變。
3 安裝位置問(wèn)題
本控制器安裝時(shí)建議保持安裝面水平,但對位置并不特別敏感,可以任意位置安裝,非水平位置安裝時(shí)若發(fā)現零點(diǎn)偏移,可以調整零點(diǎn)后在工作。
4 閥口密封問(wèn)題
質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調節閥, 不是截止閥, 不能當截止閥使用, 用戶(hù)應另配截止閥。特別是用戶(hù)使用腐蝕性氣體,通常應該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個(gè)截止閥,以保證工作安全。長(cháng)期工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以?xún)? 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿(mǎn)量程的2%, 則應進(jìn)行維修。
5 標定與不同氣體的換算
本流量質(zhì)量控制器出廠(chǎng)通常用氮氣(N2)標定。如果要求用使用氣體標定,需要在訂貨時(shí)與銷(xiāo)售人員特別申明。用氮氣標定的流量控制器用戶(hù)使用其它氣體時(shí),可以通過(guò)附錄的轉換系數進(jìn)行換算。
質(zhì)量流量控制器能用比例閥代替嗎?
不可以的,一般我們常說(shuō)的比例閥就是電磁調節閥,雖然可以起到一定的流量調節作用,但無(wú)法做到準確,穩定的流量控制,而氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)是在電磁調節閥的基礎上增加了控制電路和流量檢測傳感器和比例分流,是可以實(shí)現準確、穩定的流量控制,并且可以將流量信號穩定持續輸出成電壓信號或電流信號,比例閥根本滿(mǎn)足不了MFC能起到的作用。
通訊方式的熱式氣體質(zhì)量流量控制器
在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器,并將其控制在同一溫度。當流體流動(dòng)時(shí),氣體將上游的部分熱量帶給下游,而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時(shí),利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理,來(lái)測定流量。熱式流量計傳感器包含兩個(gè)傳感元件,一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動(dòng)地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值,使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時(shí),電加熱消耗的能量,也可以說(shuō)熱消散值,與流過(guò)氣體的質(zhì)量流量成正比,它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。