氣體質(zhì)量流量單位
氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分鐘標準升)來(lái)表示。這意味著(zhù),這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。
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使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽, 氣壓很低, 如何定制質(zhì)量流量控制器的低壓降產(chǎn)品?
部分用戶(hù)使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源,氣壓很低, 用普通MFC, 不能正常工作。這時(shí)用戶(hù)需要向供貨商特別聲明, 定制低壓降的質(zhì)量流量控制器。通??梢远ㄖ乒ぷ鲏翰畹陀?.01MPa的MFC, 這時(shí)MFC的工作壓差范圍, 也會(huì )變小。
注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時(shí), 不能讓汽化物在MFC中結露, 結露會(huì )影響MFC的正常工作。為了防止結露, 可以對管路和MFC適當加溫, 但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過(guò)50℃。如果用戶(hù)要MFC的工作環(huán)境溫度超過(guò)65℃以上, 需要特殊購買(mǎi)高溫MFC產(chǎn)品。
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質(zhì)量流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎?
質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶(hù)在訂貨時(shí), 需要向供貨廠(chǎng)商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。
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