氣體質(zhì)量流量控制器流速和流量之間的關(guān)系
流量通常分為體積流量、質(zhì)量流量和重量流量三種:
體積流量的公式為Q=VS,Q代表氣體的體積流量(m/s),V代表氣體的平均流速(m/s),S代表氣路管道的橫截面積(㎡)。
質(zhì)量流量則是M=ρQ=ρVS,M代表氣體的質(zhì)量流量(kg/s),ρ代表氣體的密度(kg/m),Q代表氣體的體積流量(m/s)。
重量流量則是G=γQ=ρgVS=gM,G代表氣體的重量流量(kgf/s),γ代表氣體的介質(zhì)重度(N/㎡),M代表氣體的質(zhì)量流量(kg/s)。
使用氣體質(zhì)量流量控制器注意事項
1.怕粉塵, 若粉塵進(jìn)到氣體質(zhì)量流量控制器內部會(huì )阻塞傳感器和分流器, 導致數據誤差, 所以建議在MFC進(jìn)氣口前加裝過(guò)濾裝置;
2.怕液體和油漬進(jìn)到MFC, 一旦有液體進(jìn)入到MFC內部會(huì )導致無(wú)法控制,所以建議在MFC進(jìn)氣口前端還要加裝干燥裝置, 假如MFC的出口接有液體罐, 也要在MFC出口再加上單向閥, 避免液體流回;
3.怕應用濕冷的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì )使不銹鋼生銹, 導致MFC通道毀壞, 因而在應用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統開(kāi)展烘干解決;,并且在通腐蝕性氣體前要檢查管路的氣密性,還要使用惰性氣體對管路進(jìn)行吹掃,然后再通腐蝕性氣體,等MFC工作結束后還要使用惰性氣體再次吹掃一遍管路,保證管路中不會(huì )殘存腐蝕性氣體。
4.怕在應用強腐蝕性、有毒有害及yiranyibao氣體時(shí)不按安全性標準實(shí)際操作, 這樣有可能導致人身及商品毀壞和其他明顯的損害。
5.使用MFC前還需要將MFC進(jìn)行通電預熱,保證MFC在不通氣時(shí),瞬時(shí)流量處于0的位置,如果不通氣時(shí),瞬時(shí)流量顯示有一定的數值,表示傳感器出現“零漂”現象,可以先對MFC進(jìn)行調零處理,否則將影響MFC的精度。
壓力對于氣體質(zhì)量流量控制器影響有哪些?
市面上的熱式氣體質(zhì)量流量控制器的耐壓主要分為:10Bar、50Bar和100Bar。10Bar的流量控制器主要為差壓式(也稱(chēng)節流式) 流量計是基于流體流動(dòng)的節流原理,利用流體流經(jīng)節流裝置時(shí)產(chǎn)生的壓力差而實(shí)現流量測量的。50Bar和100Bar的流量控制器主要為熱式流量計,熱式流量計采用熱擴散原理,熱擴散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。熱式流量計有兩個(gè)溫度傳感器被置于介質(zhì)中時(shí),其中一個(gè)傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的溫度,另一個(gè)溫度傳感器用于感應介質(zhì)溫度。