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北京曉韜科技(圖)-數字流量控制器哪家好-數字流量控制器

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氣體質(zhì)量流量控制器的原理是什么？

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器、通道、電磁調節閥和電路板等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量積算儀上設置有穩壓電源, 設定電位器, 和三位閥控開(kāi)關(guān)等。


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氣體質(zhì)量流量控制器應用領(lǐng)域

氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測量和控制。其廣泛應用于半導體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著(zhù)重要的作用。典型的應用場(chǎng)合包括微電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣、毛細管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。


如何通過(guò)質(zhì)量流量控制器判斷沒(méi)有氣體通過(guò)？

質(zhì)量流量控制器（MFC）是用來(lái)控制氣體流量的，質(zhì)量流量計（MFM）是用來(lái)測量氣體流量，如果你需要檢測氣體流量需要用MFM。  當然MFC還是有檢測方法的，如果通過(guò)氣體流量比較大，壓比較大，可以為MFC設定一個(gè)大流量，MFC會(huì )反饋一個(gè)值，這個(gè)值就是氣體的流量。  如果流量比較小，壓力比較小MFC就不能測出來(lái)了，因為MFC壓損通常是比較大的，如果氣體流量比較小，壓力比較小就沒(méi)辦法測量了，就需要抵壓損的MFM。


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