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曉韜科技公司-智能流體數字控制模塊廠(chǎng)家

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流體控制

流體控制是利用流體的各種控制元件（各種泵、閥門(mén)、油缸）及液壓系統附件（過(guò)濾器、管路接頭、液位計、壓力儀表等），組成控制閉式回路，以進(jìn)行自動(dòng)控制。

氣動(dòng)控制，動(dòng)作迅速、方便，使用的元件和工作介質(zhì)成本低，便于現有機器設備的自動(dòng)化改裝，已經(jīng)在國際上得到很大發(fā)展，成為熱點(diǎn)之一。

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體積流量的表示方法

對多數用戶(hù)而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）, 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。

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質(zhì)量流量控制器在高壓條件下如何使用?

質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn):1, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 2, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號;  3, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調節減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會(huì )超過(guò)規定的范圍。只要做到以上三點(diǎn),  MFC就能夠在高壓條件下穩定工作。

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