氣體質(zhì)量流量控制器流速和流量之間的關(guān)系
流量通常分為體積流量、質(zhì)量流量和重量流量三種:
體積流量的公式為Q=VS,Q代表氣體的體積流量(m/s),V代表氣體的平均流速(m/s),S代表氣路管道的橫截面積(㎡)。
質(zhì)量流量則是M=ρQ=ρVS,M代表氣體的質(zhì)量流量(kg/s),ρ代表氣體的密度(kg/m),Q代表氣體的體積流量(m/s)。
重量流量則是G=γQ=ρgVS=gM,G代表氣體的重量流量(kgf/s),γ代表氣體的介質(zhì)重度(N/㎡),M代表氣體的質(zhì)量流量(kg/s)。
氣體質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么?
(1) 流量的測量和操縱不因溫度或負載的變化而產(chǎn)生誤差。 針對大部分流量控制系統來(lái)講,難以防止系統的工作壓力起伏及自然環(huán)境和物質(zhì)的溫度轉變。針對一般的流量計,工作壓力及溫度的起伏將造成很大的偏差;針對質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器,則一般可以忽略。
(2) 測量操縱的自動(dòng)化技術(shù) 質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以規范電子信號輸出。那樣非常容易實(shí)現對流量的數據顯示﹑積累流量﹑數據信息自動(dòng)保存﹑電腦管理等。對質(zhì)量流量控制器來(lái)講,還能夠完成流量的自動(dòng)控制系統。通常, 模擬的MFC/MFM數據信號為0~ 5V或4~20mA, 數字式MFC/MFM還裝有RS232或RS485數據串行通信通信口, 能十分便捷地與電腦聯(lián)接, 開(kāi)展自動(dòng)控制系統。
(3) 定量操縱流量 質(zhì)量流量控制器可以控制汽體的給定量,這對許多加工工藝全過(guò)程的流量操縱﹑針對不一樣汽體的控制算法等尤其有效。
(4) 應用領(lǐng)域寬 有很寬的壓力范疇,可以適用真空環(huán)境和高壓環(huán)境; 可以適用多種氣體(包含一些腐蝕汽體,如HCL)
氣體質(zhì)量流量控制器特點(diǎn)
利用流體流過(guò)發(fā)熱物體時(shí),發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。該系列流量計的傳感器有兩只標準級的RTD,一只用來(lái)做熱源,一只用來(lái)測量流體溫度,當流體流動(dòng)時(shí),兩者之間的溫度差與流量的大小成線(xiàn)性關(guān)系,再通過(guò)微電子控制技術(shù),將這種關(guān)系轉換為測量流量信號的線(xiàn)性輸出。
采用全新的進(jìn)口傳感技術(shù)以及高精度的機械加工技術(shù),能實(shí)現微小流量測量和控制,其特點(diǎn)是可靠性高、重復性好,壓損小,無(wú)可動(dòng)部件,量程比寬,響應時(shí)間較快,測量精度高,無(wú)需要溫度壓力補償,廣泛應用于輕工化工環(huán)保及半導體等工業(yè)部門(mén)的空氣、氧氣、氮氣等氣體的檢測和控制