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熱式質(zhì)量流量控制器-熱式質(zhì)量流量控制器公司-曉韜科技

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氣體質(zhì)量流量控制器流速和流量之間的關(guān)系

流量通常分為體積流量、質(zhì)量流量和重量流量三種：

體積流量的公式為Q=VS，Q代表氣體的體積流量（m/s），V代表氣體的平均流速（m/s），S代表氣路管道的橫截面積（㎡）。

質(zhì)量流量則是M=ρQ=ρVS，M代表氣體的質(zhì)量流量（kg/s），ρ代表氣體的密度（kg/m），Q代表氣體的體積流量（m/s）。

重量流量則是G=γQ=ρgVS=gM，G代表氣體的重量流量（kgf/s），γ代表氣體的介質(zhì)重度（N/㎡），M代表氣體的質(zhì)量流量（kg/s）。


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氣體質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么？

(1) 流量的測量和操縱不因溫度或負載的變化而產(chǎn)生誤差。 針對大部分流量控制系統來(lái)講，難以防止系統的工作壓力起伏及自然環(huán)境和物質(zhì)的溫度轉變。針對一般的流量計，工作壓力及溫度的起伏將造成很大的偏差；針對質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略。 

(2) 測量操縱的自動(dòng)化技術(shù) 質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以規范電子信號輸出。那樣非常容易實(shí)現對流量的數據顯示﹑積累流量﹑數據信息自動(dòng)保存﹑電腦管理等。對質(zhì)量流量控制器來(lái)講，還能夠完成流量的自動(dòng)控制系統。通常, 模擬的MFC/MFM數據信號為0~ 5V或4~20mA, 數字式MFC/MFM還裝有RS232或RS485數據串行通信通信口, 能十分便捷地與電腦聯(lián)接, 開(kāi)展自動(dòng)控制系統。

 (3) 定量操縱流量 質(zhì)量流量控制器可以控制汽體的給定量，這對許多加工工藝全過(guò)程的流量操縱﹑針對不一樣汽體的控制算法等尤其有效。

 (4) 應用領(lǐng)域寬 有很寬的壓力范疇，可以適用真空環(huán)境和高壓環(huán)境; 可以適用多種氣體（包含一些腐蝕汽體，如HCL）


氣體質(zhì)量流量控制器應用領(lǐng)域

氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測量和控制。其廣泛應用于半導體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著(zhù)重要的作用。典型的應用場(chǎng)合包括微電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣、毛細管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。


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