選擇氣體質(zhì)量流量控制器和訂貨時(shí)應當注意什么?
(1) 注意選擇正確的品牌
一般應當衡量生產(chǎn)廠(chǎng)家的產(chǎn)品質(zhì)量﹑銷(xiāo)售價(jià)格﹑售后服務(wù)﹑技術(shù)水平﹑產(chǎn)品特點(diǎn)﹑生產(chǎn)規模﹑企業(yè)信譽(yù)等因素。
(2) 注意選擇正確的工作壓力指標
不同的產(chǎn)品工作壓力指標可能不同,注意選擇適合自己的產(chǎn)品。質(zhì)量流量控制器(MFC)除耐壓之外,還有另一項工作壓力指標:工作壓差,即MFC進(jìn)氣端和出氣端之間的壓差,選型時(shí)要注意,使用時(shí)也要注意。
(3) 注意選擇合適氣體、流量規格、精度和接頭形式和接口尺寸。
除了氣體種類(lèi),流量范圍外準確度和接頭形式也很重要,常見(jiàn)的接頭形式有卡套接頭和VCR接頭,接口尺寸有公制Φ3、Φ6、Φ10;英制1/8、1/4、1/2英寸的和法蘭接頭。具體接口尺寸需要根據流量范圍來(lái)定制。
氣體質(zhì)量流量控制器應用領(lǐng)域
氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測量和控制。其廣泛應用于半導體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著(zhù)重要的作用。典型的應用場(chǎng)合包括微電子工藝設備,如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣、毛細管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。
氣體質(zhì)量流量控制器對于氣體的要求
1,氣體必須潔凈且沒(méi)有顆粒物, 沒(méi)有液體, 這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過(guò)濾器。
2,輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標準, 不能超過(guò)該產(chǎn)品要求的較大壓力。
3、產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶(hù)訂貨選擇的密封材料相適應, 用戶(hù)有責任按照可用的安全規章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會(huì )使保修無(wú)效,還容易產(chǎn)生危險。