氣體質(zhì)量流量控制器的原理是什么？

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器、通道、電磁調節閥和電路板等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量積算儀上設置有穩壓電源, 設定電位器, 和三位閥控開(kāi)關(guān)等。

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視頻作者：北京曉韜科技有限公司

使用氣體質(zhì)量流量控制器注意事項

1.怕粉塵, 若粉塵進(jìn)到氣體質(zhì)量流量控制器內部會(huì )阻塞傳感器和分流器, 導致數據誤差, 所以建議在MFC進(jìn)氣口前加裝過(guò)濾裝置; 

2.怕液體和油漬進(jìn)到MFC, 一旦有液體進(jìn)入到MFC內部會(huì )導致無(wú)法控制,所以建議在MFC進(jìn)氣口前端還要加裝干燥裝置， 假如MFC的出口接有液體罐, 也要在MFC出口再加上單向閥, 避免液體流回; 

3.怕應用濕冷的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會(huì )使不銹鋼生銹, 導致MFC通道毀壞, 因而在應用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統開(kāi)展烘干解決;，并且在通腐蝕性氣體前要檢查管路的氣密性，還要使用惰性氣體對管路進(jìn)行吹掃，然后再通腐蝕性氣體，等MFC工作結束后還要使用惰性氣體再次吹掃一遍管路，保證管路中不會(huì )殘存腐蝕性氣體。

4.怕在應用強腐蝕性、有毒有害及yiranyibao氣體時(shí)不按安全性標準實(shí)際操作, 這樣有可能導致人身及商品毀壞和其他明顯的損害。 

5.使用MFC前還需要將MFC進(jìn)行通電預熱，保證MFC在不通氣時(shí)，瞬時(shí)流量處于0的位置，如果不通氣時(shí)，瞬時(shí)流量顯示有一定的數值，表示傳感器出現“零漂”現象，可以先對MFC進(jìn)行調零處理，否則將影響MFC的精度。

氣體質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么？

(1) 流量的測量和操縱不因溫度或負載的變化而產(chǎn)生誤差。 針對大部分流量控制系統來(lái)講，難以防止系統的工作壓力起伏及自然環(huán)境和物質(zhì)的溫度轉變。針對一般的流量計，工作壓力及溫度的起伏將造成很大的偏差；針對質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略。 

(2) 測量操縱的自動(dòng)化技術(shù) 質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以規范電子信號輸出。那樣非常容易實(shí)現對流量的數據顯示﹑積累流量﹑數據信息自動(dòng)保存﹑電腦管理等。對質(zhì)量流量控制器來(lái)講，還能夠完成流量的自動(dòng)控制系統。通常, 模擬的MFC/MFM數據信號為0~ 5V或4~20mA, 數字式MFC/MFM還裝有RS232或RS485數據串行通信通信口, 能十分便捷地與電腦聯(lián)接, 開(kāi)展自動(dòng)控制系統。

 (3) 定量操縱流量 質(zhì)量流量控制器可以控制汽體的給定量，這對許多加工工藝全過(guò)程的流量操縱﹑針對不一樣汽體的控制算法等尤其有效。

 (4) 應用領(lǐng)域寬 有很寬的壓力范疇，可以適用真空環(huán)境和高壓環(huán)境; 可以適用多種氣體（包含一些腐蝕汽體，如HCL）