氣體質(zhì)量流量控制器的密封材料如何選擇？

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶(hù)在訂貨時(shí), 需要向供貨廠(chǎng)商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類(lèi)。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三氯化硼、HF等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價(jià)格較高, 通常要求不高的場(chǎng)合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。

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視頻作者：北京曉韜科技有限公司

質(zhì)量流量控制器能用比例閥代替嗎？

不可以的，一般我們常說(shuō)的比例閥就是電磁調節閥，雖然可以起到一定的流量調節作用，但無(wú)法做到準確，穩定的流量控制，而氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）是在電磁調節閥的基礎上增加了控制電路和流量檢測傳感器和比例分流，是可以實(shí)現準確、穩定的流量控制，并且可以將流量信號穩定持續輸出成電壓信號或電流信號，比例閥根本滿(mǎn)足不了MFC能起到的作用。

氣體質(zhì)量流量控制器的零點(diǎn)漂移？

微小的零點(diǎn)漂移是不會(huì )影響傳感器的測量精度和數值的，但是如果是零點(diǎn)漂移較大或用戶(hù)在使用時(shí)，對零點(diǎn)漂移的數值有疑問(wèn)，那么這時(shí)候如何解決漂移顯得非常重要。 熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計會(huì )有零點(diǎn)漂移情況，零點(diǎn)漂移也就是管道中已經(jīng)沒(méi)有介質(zhì)流動(dòng)但質(zhì)量流量計仍顯示流量值。如果是零點(diǎn)出現大幅漂移，而且每次漂移差別很大，就需要檢查管道內使用有大量的壓力或氣體殘留，需要打開(kāi)各種閥門(mén)，全部排空氣體管路，防止設備或管路憋壓。

一般造成質(zhì)量流量計零點(diǎn)漂移的因素有許多，解決質(zhì)量流量計零漂問(wèn)題，首先要定期進(jìn)行零點(diǎn)檢查和調整，二是需要和工藝配合來(lái)解決。一般情況下，管道壓力變化造成介質(zhì)微量流動(dòng)也會(huì )導致質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計的零點(diǎn)漂移，出現這種漂移時(shí)，要關(guān)閉流量控制器或流量計前段的電磁閥（流量控制器不能當做截止閥來(lái)使用），使管道內處于完全零流狀態(tài)或在管道適當位置設置排氣口，消除管道內的壓力和氣流，從而達到消除零點(diǎn)漂移。