氣體質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么？

(1) 流量的測量和操縱不因溫度或負載的變化而產(chǎn)生誤差。 針對大部分流量控制系統來(lái)講，難以防止系統的工作壓力起伏及自然環(huán)境和物質(zhì)的溫度轉變。針對一般的流量計，工作壓力及溫度的起伏將造成很大的偏差；針對質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略。 

(2) 測量操縱的自動(dòng)化技術(shù) 質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以規范電子信號輸出。那樣非常容易實(shí)現對流量的數據顯示﹑積累流量﹑數據信息自動(dòng)保存﹑電腦管理等。對質(zhì)量流量控制器來(lái)講，還能夠完成流量的自動(dòng)控制系統。通常, 模擬的MFC/MFM數據信號為0~ 5V或4~20mA, 數字式MFC/MFM還裝有RS232或RS485數據串行通信通信口, 能十分便捷地與電腦聯(lián)接, 開(kāi)展自動(dòng)控制系統。

 (3) 定量操縱流量 質(zhì)量流量控制器可以控制汽體的給定量，這對許多加工工藝全過(guò)程的流量操縱﹑針對不一樣汽體的控制算法等尤其有效。

 (4) 應用領(lǐng)域寬 有很寬的壓力范疇，可以適用真空環(huán)境和高壓環(huán)境; 可以適用多種氣體（包含一些腐蝕汽體，如HCL）

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視頻作者：北京曉韜科技有限公司

什么是氣體質(zhì)量流量控制器？

氣體質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著(zhù)重要的應用。

質(zhì)量流量控制器不僅具備質(zhì)量流量計的作用，更主要的是，它能控制氣體流量，即客戶(hù)可按照需求設定流量，MFC會(huì )自動(dòng)地將流量穩定在設定值上，即使系統工作壓力有起伏或自然環(huán)境溫度有轉變，也不會(huì )使其偏移設定值。簡(jiǎn)易地說(shuō),質(zhì)量流量控制器可以看成是一個(gè)穩流設備, 是一個(gè)可以手動(dòng)式設置或與電子計算機連接自動(dòng)控制的氣體穩流設備。

通訊方式的熱式氣體質(zhì)量流量控制器

在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器，并將其控制在同一溫度。當流體流動(dòng)時(shí)，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時(shí)，利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理，來(lái)測定流量。熱式流量計傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動(dòng)地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時(shí)，電加熱消耗的能量，也可以說(shuō)熱消散值，與流過(guò)氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。