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氣體質(zhì)量流量單位

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標準升）來(lái)表示。這意味著(zhù)，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

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視頻作者：北京曉韜科技有限公司

質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么？

(1)  流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準。

對于多數流量測控系統而言，很難避免系統的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動(dòng)將導致較大的誤差；對于質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計。

(2)  測量控制的自動(dòng)化

質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實(shí)現對流量的數字顯示﹑累積流量自動(dòng)計量﹑數據自動(dòng)記錄﹑計算機管理等。對質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現流量的自動(dòng)控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA, 數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口, 能非常方便地與計算機連接, 進(jìn)行自動(dòng)控制。

(3)  定量控制流量

質(zhì)量流量控制器可以控制氣體的給定量，這對很多工藝過(guò)程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。

(4)  適用范圍寬

有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）

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使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽, 氣壓很低, 如何定制質(zhì)量流量控制器的低壓降產(chǎn)品?

部分用戶(hù)使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源，氣壓很低, 用普通MFC, 不能正常工作。這時(shí)用戶(hù)需要向供貨商特別聲明, 定制低壓降的質(zhì)量流量控制器。通?？梢远ㄖ乒ぷ鲏翰畹陀?.01MPa的MFC, 這時(shí)MFC的工作壓差范圍, 也會(huì )變小。

注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時(shí), 不能讓汽化物在MFC中結露, 結露會(huì )影響MFC的正常工作。為了防止結露, 可以對管路和MFC適當加溫, 但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過(guò)50℃。如果用戶(hù)要MFC的工作環(huán)境溫度超過(guò)65℃以上, 需要特殊購買(mǎi)高溫MFC產(chǎn)品。

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