氣體質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么?
(1) 流量的測量和操縱不因溫度或負載的變化而產(chǎn)生誤差。 針對大部分流量控制系統來(lái)講,難以防止系統的工作壓力起伏及自然環(huán)境和物質(zhì)的溫度轉變。針對一般的流量計,工作壓力及溫度的起伏將造成很大的偏差;針對質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器,則一般可以忽略。
(2) 測量操縱的自動(dòng)化技術(shù) 質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以規范電子信號輸出。那樣非常容易實(shí)現對流量的數據顯示﹑積累流量﹑數據信息自動(dòng)保存﹑電腦管理等。對質(zhì)量流量控制器來(lái)講,還能夠完成流量的自動(dòng)控制系統。通常, 模擬的MFC/MFM數據信號為0~ 5V或4~20mA, 數字式MFC/MFM還裝有RS232或RS485數據串行通信通信口, 能十分便捷地與電腦聯(lián)接, 開(kāi)展自動(dòng)控制系統。
(3) 定量操縱流量 質(zhì)量流量控制器可以控制汽體的給定量,這對許多加工工藝全過(guò)程的流量操縱﹑針對不一樣汽體的控制算法等尤其有效。
(4) 應用領(lǐng)域寬 有很寬的壓力范疇,可以適用真空環(huán)境和高壓環(huán)境; 可以適用多種氣體(包含一些腐蝕汽體,如HCL)
氣體質(zhì)量流量控制器工作原理
氣體進(jìn)入進(jìn)氣管道接頭后大部門(mén)流量流過(guò)分流器通道,其中很小一部門(mén)進(jìn)入傳感器內部的毛細鋼管。因為分流器通道的特殊結構,可以實(shí)現這兩部門(mén)氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預熱加溫,里面的溫度高于進(jìn)入的氣流溫度,此時(shí)通過(guò)毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門(mén)氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響,將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板,經(jīng)由放大后輸出,就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動(dòng)控制功能,把傳感器測得的流量檢測信號與用戶(hù)給出的設定信號進(jìn)行比較,以此為基礎控制調節閥,使得流量檢測信號與設定信號相等,這樣便實(shí)現了MFC的功能。
氣體質(zhì)量流量控制器對于氣體的要求
1,氣體必須潔凈且沒(méi)有顆粒物, 沒(méi)有液體, 這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過(guò)濾器。
2,輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標準, 不能超過(guò)該產(chǎn)品要求的較大壓力。
3、產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶(hù)訂貨選擇的密封材料相適應, 用戶(hù)有責任按照可用的安全規章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會(huì )使保修無(wú)效,還容易產(chǎn)生危險。