氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個(gè)什么概念?

氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作，MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差小于0.1 MPa, 有可能操控流量達不上滿(mǎn)量程值; 若高過(guò)0.3MPa, 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過(guò)，即電磁閥漏氣?？蛻?hù)應用MFC時(shí), 無(wú)論客戶(hù)工作的反應腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài), 都應保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規定壓差范圍內, 而且壓差要相持續穩定。

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視頻作者：北京曉韜科技有限公司

氣體質(zhì)量流量控制器使用注意？

1 加裝過(guò)濾器

使用氣體必須純凈干燥，切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過(guò)濾器，如果流量計出口接有液體源瓶，應在流量計出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量計。

2 使用腐蝕性氣體

流量計通道采用的材料為：SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1（00Cr30Mo2）, 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶(hù)系統無(wú)汽水、低泄露、勤清洗、使用得當的條件下，也可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強腐蝕性氣體和溶劑氣體時(shí)，應在定貨時(shí)聲明，使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應改變。

3 安裝位置問(wèn)題

本控制器安裝時(shí)建議保持安裝面水平，但對位置并不特別敏感，可以任意位置安裝，非水平位置安裝時(shí)若發(fā)現零點(diǎn)偏移，可以調整零點(diǎn)后在工作。

4 閥口密封問(wèn)題

質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調節閥, 不是截止閥, 不能當截止閥使用, 用戶(hù)應另配截止閥。特別是用戶(hù)使用腐蝕性氣體，通常應該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個(gè)截止閥，以保證工作安全。長(cháng)期工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以?xún)? 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿(mǎn)量程的2%, 則應進(jìn)行維修。

5 標定與不同氣體的換算

本流量質(zhì)量控制器出廠(chǎng)通常用氮氣(N2)標定。如果要求用使用氣體標定，需要在訂貨時(shí)與銷(xiāo)售人員特別申明。用氮氣標定的流量控制器用戶(hù)使用其它氣體時(shí)，可以通過(guò)附錄的轉換系數進(jìn)行換算。

質(zhì)量流量控制器能用比例閥代替嗎？

不可以的，一般我們常說(shuō)的比例閥就是電磁調節閥，雖然可以起到一定的流量調節作用，但無(wú)法做到準確，穩定的流量控制，而氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）是在電磁調節閥的基礎上增加了控制電路和流量檢測傳感器和比例分流，是可以實(shí)現準確、穩定的流量控制，并且可以將流量信號穩定持續輸出成電壓信號或電流信號，比例閥根本滿(mǎn)足不了MFC能起到的作用。